技術(shù)編號：1455427
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種小電流高壓硅堆清洗工藝，步驟為首先，利用機械臂將高壓硅堆放入混酸溶液中清洗，將經(jīng)過混酸清洗后的高壓硅堆放入溢水中清洗；然后，再利用機械臂將高壓硅堆放入稀HNO溶液中進行清洗，將經(jīng)過稀HNO清洗后的高壓硅堆放入溢水中清洗；最后，利用機械臂將高壓硅堆放入稀HF中清洗，將經(jīng)過稀HF清洗后的高壓硅堆放入溢水中清洗；同時，在清洗的過程中，機械臂自動擺動，最后，將高壓硅堆放入甩干機中進行脫水處理，脫水的時間t4=180s，完成清洗。本發(fā)明的優(yōu)點在于利用本...
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