技術(shù)編號(hào):1477026
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型創(chuàng)造提供一種手動(dòng)片盒清洗裝置,包括沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽、FFU設(shè)備、水槽排放液系統(tǒng)、注水系統(tǒng)、箱體和工作臺(tái),刷洗槽和沖洗槽分別位于浸泡槽的兩側(cè),F(xiàn)FU設(shè)備位于箱體上方,水槽排放液系統(tǒng)和注水系統(tǒng)分別與沖洗槽、刷洗槽、浸泡槽連接,工作臺(tái)由孔板組成。一種手動(dòng)片盒清洗裝置,其水槽供水、溢流及排水均由氣動(dòng)閥控制,每個(gè)水槽有注水開關(guān),排水開關(guān),溢流開關(guān)和溢流量調(diào)節(jié)閥,裝置操作簡(jiǎn)便、安全性高,不需要買免洗片盒,能同時(shí)對(duì)多個(gè)不同規(guī)格硅片片盒進(jìn)行清洗,不僅降低了...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。