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技術(shù)編號(hào)：1489857

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本發(fā)明涉及一種用于清洗半導(dǎo)體基板的洗滌液組合物，具體地， 涉及一種在半導(dǎo)體制備工序中的具有銅布線的半導(dǎo)體基板的清洗工 序，特別是經(jīng)化學(xué)機(jī)械拋光后的銅布線裸露的半導(dǎo)體基板的清洗工序 中，用于去除附著在基板表面上的金屬雜質(zhì)等的洗滌液組合物。背景技術(shù)隨著集成電路(IC)的高集成化，微量雜質(zhì)給設(shè)備的性能和合格率帶來了大的影響，因此，需要嚴(yán)格控制污染。即，需要嚴(yán)格控制基 板的污染，由此，在制備半導(dǎo)體的各工序中使用各種洗滌液。 在半導(dǎo)體用基板洗滌液中，通常將作為堿性洗...
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