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技術(shù)編號：1507812

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本發(fā)明屬于材料表面清潔方法及其裝置，尤其是一種利用微波產(chǎn)生紫外光，臭氧或氧等離子體，以清除材料表面污染的方法及其裝置。該方法和裝置特別適用于清除導(dǎo)電玻璃表面的各種污染。本發(fā)明提出的材料表面清潔方法，是把需要清潔的材料置于微波輻射源和紫外光之間，由微波能量轉(zhuǎn)化為紫外光能量，同時(shí)由紫外光激勵(lì)產(chǎn)生臭氧或者由微波產(chǎn)生氧等離子體，實(shí)現(xiàn)對材料表面的高效清潔。對應(yīng)于本發(fā)明的上述材料表面清潔方法，本發(fā)明還設(shè)計(jì)了相應(yīng)的清潔處理裝置。該裝置由微波輻射源、紫外燈、密封腔體構(gòu)成。...
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