技術(shù)編號：1519882
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種半導(dǎo)體有機清洗設(shè)備，尤其涉及一種利用過濾器實現(xiàn)自身超純水系統(tǒng)循環(huán)利用的半導(dǎo)體有機清洗設(shè)備。背景技術(shù)在半導(dǎo)體加工行業(yè)中，Spindle Accel半導(dǎo)體清洗機是一種常用的有機清洗設(shè)備。 而隨著節(jié)能環(huán)保的生產(chǎn)要求日漸深入人心，此類清洗機設(shè)備的零排放系統(tǒng)超純水循環(huán)利用便成為該清洗機的重要技術(shù)關(guān)鍵之一。由于清洗產(chǎn)品本身的特性，清洗的結(jié)果必然導(dǎo)致清洗機自身的過濾器需要經(jīng)常更換。然而即使是對于相對清潔度較高的半導(dǎo)體產(chǎn)品的清洗， 在國外原廠使用基本一個...
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