技術(shù)編號：1547662
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導體專用設(shè)備晶片清潔裝置 背景技術(shù)半導體專用設(shè)備在進行晶片加工的過程中，需要用毛刷與晶片接觸進行清潔，以 去除雜質(zhì)。常見的清潔裝置由電機通過滾珠絲杠帶動毛刷上下移動，這樣存在一些問題，如 結(jié)構(gòu)復雜、密封性不好、柔性差等，從而影響了加工質(zhì)量和效率的提高。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種晶片清潔裝置，不僅可使毛刷與晶片柔性接觸，有效防 止損傷晶片，可大大提高清潔質(zhì)量和效率，可靠性和穩(wěn)定性較高，而且具有結(jié)構(gòu)簡單緊湊、 使用方便、壽命長的特點。本發(fā)明是這...
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