技術編號：1793040
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型硅材料產品的制造領域，尤其是適用于涉及一種硅產品加工治具。 背景技術硅產品是半導體設備中的重要部件，精度要求較高，生產成本較高，目前主要應用于高端半導體生產中，國際上只有3家工廠加工，加工難度很高。現有技術中，由于硅產品容易產生劃傷等不良問題，通用加工方法是將硅產品用石蠟粘結在工作平臺上，這樣角度容易出現不良，硅產品較薄、較長，粘蠟時容易產生劃傷和斷裂，加工過程中也容易斷裂，角度不準確等問題，國際上加工廠商都采用粘蠟的方法加工，質量不穩(wěn)定，出現劃...
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