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技術(shù)編號：1799547

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本發(fā)明涉及材料領(lǐng)域，主要涉及無機非金屬材料中鋅鋁氧化物納米粉及其制備方法，具體講是一種摻鑭或釔的鋅鋁氧化物粉及共沉—超臨界流體干燥制備法。背景技術(shù) ITO薄膜是透明導(dǎo)電氧化物薄膜的主要代表，具有禁帶寬、可見光透射率高和電阻率低等優(yōu)異的光電特性，廣泛應(yīng)用于平面顯示、太陽能電池、特殊功能窗口涂層及其它光電器件領(lǐng)域。ITO薄膜雖然光電性能好，但由于銦是貴金屬，因此鍍制銦錫氧化物(ITO)薄膜使用的相應(yīng)靶材也十分昂貴。另一種氧化物薄膜，鋅鋁氧化物(ZAO)薄膜的可...
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