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Pcvd沉積車床出氣端旋轉(zhuǎn)接頭裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:1810035

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本發(fā)明涉及一種用于PCVD沉積車床出氣端的旋轉(zhuǎn)接頭裝置,是對現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)接頭裝置的進一步改進。本發(fā)明為解決上述提出的問題所采用的技術(shù)方案為包括有主軸2和支承座5,支承座的一側(cè)安設(shè)有與主軸相聯(lián)的傳動帶輪,支承座的另一側(cè)設(shè)置有固定外殼14,固定外殼內(nèi)安設(shè)有支承主軸的軸承8,固定外殼的尾端為尾氣排放口,其不同之處在于固定外殼內(nèi)安設(shè)有與主軸相聯(lián)的磁性軸10,磁性軸由軸承支承,在軸承側(cè)設(shè)有與磁性軸相配置的磁流體11,構(gòu)成主軸與固定外殼間的磁流體密封。按上述方案,為降低排...
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