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技術(shù)編號(hào)：1832464

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本發(fā)明涉及一種基板校正裝置，特別是涉及一種應(yīng)用于玻璃基板的校正裝置。背景技術(shù) 蝕刻機(jī)臺(tái)10是用以蝕刻玻璃基板20，如圖1所示，蝕刻機(jī)臺(tái)10內(nèi)部包括輸送臺(tái)11、基板交換室(load lock chamber)12、輸送腔體13、第一程序腔體(PC1)14、第二程序腔體(PC2)15、第三程序腔體(PC3)16以及機(jī)械手17、18。玻璃基板20設(shè)在輸送臺(tái)11上，經(jīng)由機(jī)械手17傳送到基板交換室12，使玻璃基板處于真空環(huán)境中，再將玻璃基板20輸送到輸送腔體13中，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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