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蝕刻玻璃基板的裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1853116

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本公開(kāi)在此涉及一種蝕刻裝置。 背景技術(shù)平板顯示器包括由二氧化硅形成的玻璃基板。由于玻璃基板是平板顯示器中最重的部分,因此為了提供更輕且更纖薄的平板顯示器正在進(jìn)行大量的研究以開(kāi)發(fā)更輕的玻璃基板。減輕玻璃基板的重量的典型方法可以是減小該玻璃基板的厚度。為此,基板玻璃在蝕刻之后應(yīng)該是平整的。也就是說(shuō),在減小玻璃基板的厚度時(shí)玻璃基板的均勻性是重要的,因?yàn)槿绻褂貌痪鶆虻牟AЩ鍎t平板顯示器可能具有圖像質(zhì)量缺陷。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的實(shí)施例的一方面致力于一種用于均勻且有效...
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