技術(shù)編號：1858598
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種多晶硅片生產(chǎn)設(shè)備部件，具體涉及一種多晶硅切片機一體式粘晶板。背景技術(shù)現(xiàn)有技術(shù)中多晶硅切片機的粘晶板(工件板)每塊長度較短，使用時采用幾塊短工件板對接使用，這種分體對接式工件板在粘棒過程中會產(chǎn)生大量的縫隙，工件的利用率不高，影響了切片機的產(chǎn)量。發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種多晶硅切片機一體式粘晶板，解決了使用時晶棒間縫隙過大，工件利用率不高從而影響產(chǎn)量的問題。本實用新型采用的技術(shù)方案是一種多晶硅切片機一體式粘晶板...
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