技術編號:1875959
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供一種,包括以下步驟提供一基底;在所述基底的表面形成一掩模層;納米壓印所述掩模層,使所述掩模層表面形成并排延伸的多個條形凸起結構;刻蝕所述掩模層,使所述凸起結構的頂端兩兩靠在一起而閉合;刻蝕所述基底,使所述基底的表面圖案化,形成多個三維納米結構預制體;以及去除所述掩模層,形成多個三維納米結構。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種,尤其涉及一種閃耀。背景技術[0002]光柵是現代精密儀器的重要組成元件之一。普通光柵大部分的能量集中在零級衍射,由于單縫衍...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。