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光柵的制備方法技術資料下載

技術編號:1875959

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本發(fā)明提供一種,包括以下步驟提供一基底;在所述基底的表面形成一掩模層;納米壓印所述掩模層,使所述掩模層表面形成并排延伸的多個條形凸起結構;刻蝕所述掩模層,使所述凸起結構的頂端兩兩靠在一起而閉合;刻蝕所述基底,使所述基底的表面圖案化,形成多個三維納米結構預制體;以及去除所述掩模層,形成多個三維納米結構。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種,尤其涉及一種閃耀。背景技術[0002]光柵是現代精密儀器的重要組成元件之一。普通光柵大部分的能量集中在零級衍射,由于單縫衍...
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