技術(shù)編號:1885749
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明用于切方機的金剛線切割工藝,包括第一步,將待加工的晶棒放在晶托上并加磁固定;第二步,開動切方機進行帶砂切割;其中,砂漿的流量≥18O升/分鐘,金剛線切割的線速為900米/分鐘,循環(huán)時間為90秒,新線送線量為6米/分鐘,進給速度為2.0毫米/分鐘;第三步,從晶托分離并檢驗。本發(fā)明用于切方機的金剛線切割工藝的借助高速的線速,達到切割進給速度比用普通鋼線+碳化硅粉切割兩倍以上的效果,而且在提高速度的情況下,成品的尺寸精度達到檢驗標準(切方尺寸控制156.3...
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