技術(shù)編號：1901171
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基于梯度預(yù)晶化熱處理的多層BST薄膜制備方法，屬于功能材料。本發(fā)明在逐層制備多層BST薄膜的過程中，對逐層制備的BST薄膜進行梯度預(yù)晶化熱處理。梯度預(yù)晶化熱處理BST薄膜沿(110)晶面生長、生長均勻緩慢、平均晶粒20～30nm、晶界清晰、晶粒間隙小、光滑致密、無裂紋、無縮孔，介溫系數(shù)小、頻率特性穩(wěn)定、綜合介電性能顯著提高。介電常數(shù)322～398、調(diào)諧率34.5%～46.3%、介電損耗0.55%～0.97%、漏電流密度4.2×10-9～9.0×10-8A/...
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