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高致密導(dǎo)電氧化鈮靶材的生產(chǎn)方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):1916519

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本發(fā)明屬于靶材制造,具體涉及一種。選擇五氧化二鈮粉和金屬鈮粉作為原料按照配比放入V型混料機(jī)中混料,將混好的粉體原料放入高能球磨罐中球磨,將球磨好的粉體放入高純石墨模具中,將石墨模具放入熱壓爐中處理,關(guān)閉電源隨爐冷,取出靶材坯料,將坯料加工成規(guī)定形狀的靶材,檢測(cè)靶材的密度、純度、電阻率。本發(fā)明通過(guò)高能球磨機(jī)械合金化的方法,讓金屬鈮的分布更加均勻,靶材的導(dǎo)電性更好;通過(guò)優(yōu)化的熱壓工藝,生產(chǎn)過(guò)程更短,成本更低;通過(guò)原料的優(yōu)選,靶材的導(dǎo)電性和致密度更好。專利說(shuō)明 ...
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