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技術(shù)編號(hào)：1940410

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本發(fā)明涉及一種 背景技術(shù)IT0是銦錫氧化物的簡(jiǎn)稱，IT0薄膜由于對(duì)可見(jiàn)光透明和導(dǎo)電性良 好的特性，除應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)面板外，還可應(yīng)用在許多產(chǎn) 品上，如觸摸屏(Touch Panel)、有機(jī)發(fā)光平面顯示器(0LED)、等離 子體顯示器(PDP)、汽車(chē)防熱除霧玻璃、太陽(yáng)能電池、光電轉(zhuǎn)換器、 透明加熱器防靜電膜、紅外線反射裝置等。制造IT0薄膜會(huì)需要IT0耙，而制作IT0耙需要IT0粉，分散性優(yōu)異的 ITO粉末是最終獲得高密度ITO靶的前提。ITO粉末...
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