技術(shù)編號：1944508
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種氧化物燒結(jié)體及包含氧化物燒結(jié)體的物理成膜用靶。 背景技術(shù)由于包含幾種金屬復(fù)合氧化物的氧化物半導(dǎo)體膜具有載流子的高移 動度性和可見光透過性，所以被用于液晶顯示裝置、薄膜電致發(fā)光顯示裝 置、電泳方式顯示裝置、粉末移動方式顯示裝置等開關(guān)元件或驅(qū)動電路元 件等涉及很多方面的用途。在這樣的包含金屬復(fù)合氧化物的氧化物半導(dǎo)體膜中最普及的是被稱 為I G Z 0的包含氧化銦一氧化鎵—氧化鋅的氧化物半導(dǎo)體膜。此外，還 已知有氧化銦—氧化鋅(I Z 0 )、在氧...
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