技術(shù)編號：1956601
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種硅片脫膠保護(hù)裝置，特別是一種多線鋸切割后硅片脫膠保護(hù)裝置。背景技術(shù)目前單晶(多晶)硅棒加工成200um左右厚度的硅片都是采用多線鋸切割，切割前需要通過專用粘膠將硅棒，樹脂板(玻璃板)，鋼板粘接在一起，切割后需要進(jìn)行沖洗和脫膠，將硅片從樹脂板(玻璃板)上脫離開，在此過程中，切割好的硅片很容易因傾倒而造成破裂，破裂后的硅片就無法進(jìn)行下步工序，造成硅片生產(chǎn)的成品率不高等問題，也因此造成了很大的損失。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。