技術(shù)編號:1981873
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光伏,具體是涉及一種用于現(xiàn)代單晶硅片生產(chǎn)的單 晶硅棒切方工藝。 背景技術(shù)隨著全球范圍內(nèi)綠色能源的推廣和近年來半導體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展,硅片 市場的供需已極度不平衡,切割加工能力的落后與產(chǎn)能的嚴重不足已構(gòu)成了 整個半導體產(chǎn)業(yè)鏈的瓶頸。作為硅片上游生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù),近年來崛起的新 型硅片多絲切割技術(shù)具有切割表面質(zhì)量高、切割效率高、可切割尺寸大和后續(xù)加工方便等優(yōu)點。而日本NTC切方機在正產(chǎn)生產(chǎn)過程中穩(wěn)定性(連續(xù)切割 三批后)波動比較大,第一批次和第三批次切割...
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