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技術編號：1982367

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本發(fā)明涉及平面基材鍍膜，特別涉及一種自動循環(huán)等離子氣相沉積系統(tǒng)。背景技術等離子增強化學氣相沉積(PECVD)是在電源(包括射頻電源、直流電源或交流電源等)接通的條件下通入相關氣體，生成的薄膜沉積在基底上，可應用于半導體、太陽能、 顯示器及電子應用的設備中。由于該工藝沒有環(huán)境污染產(chǎn)生，沒有化學污水排放，同時消耗功率低，效率較高，因此逐步被應用。但目前的等離子氣相沉積技術一般只能應用于表面積較小的工件，不能適用于太陽能發(fā)電用玻璃等表面積較大的工件處理。發(fā)明內容...
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