技術(shù)編號：1989952
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明專利涉及到非致冷紅外探測器焦平面陣列(UFPA)敏感元鐵電薄膜材料及其制備方法。背景技術(shù) 非致冷紅外探測器焦平面陣列代表了凝視陣列熱成像發(fā)展的新途徑，是制備非致冷熱成像儀的關鍵部件。它包含兩個功能部分靈敏元陣列與信號處理電路。非致冷紅外探測器焦平面陣列可在普通規(guī)模的集成電路工藝線上完成，不必依靠投資極其昂貴的超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造設備。制備非致冷紅外探測器焦平面陣列的關鍵技術(shù)是制備高性能探測靈敏元及其微絕熱結(jié)構(gòu)，而性能優(yōu)良的鐵電薄膜材料能制...
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