技術(shù)編號：2300166
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造裝備離子注入機(jī)中離子源的輔助安裝和拆卸裝置，特別適合于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的離子注入機(jī)。背景技術(shù)離子源是離子注入機(jī)的一個重要部件，其作用在于使需要注入的物質(zhì)(如硼、磷、砷)的原子電離成為離子，其性能好壞對整機(jī)的性能影響極大，尤其對束流的強(qiáng)度、品質(zhì)、束流能量及整機(jī)注入的穩(wěn)定性有著決定性的影響。離子源的性能，除與使氣體電離產(chǎn)生離子的燈絲電源、偏壓電源和弧壓電源有關(guān)外，還與本身的結(jié)構(gòu)設(shè)計有極大關(guān)系。帶狀束流離子源要求從離子源發(fā)出的離子束具有較...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。