技術(shù)編號(hào)：2310139
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種手臂結(jié)構(gòu)，尤指一種單自由度真空機(jī)械手手臂的肩部結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)在現(xiàn)有的單自由度真空機(jī)械手的手臂結(jié)構(gòu)中，其大臂肩部的帶輪固定方式通常為直接固定于安裝法蘭上，且肩部回轉(zhuǎn)軸承的內(nèi)外圈在軸向上是相對(duì)剛性緊固的，因此降低了軸承的使用壽命，即降低了單自由度真空機(jī)械手的整體壽命。另外，在現(xiàn)有技術(shù)中，真空機(jī)械手抓取硅片校準(zhǔn)工位時(shí)，無(wú)法實(shí)現(xiàn)調(diào)整和補(bǔ)償工位方向，從而導(dǎo)致必須根據(jù)工位來(lái)調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)法蘭安裝的方向，不僅浪費(fèi)時(shí)間，而且浪費(fèi)人力、物力。發(fā)明內(nèi)容鑒于以上內(nèi)容，有...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。