技術(shù)編號(hào)：2312639
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本文所公開的實(shí)施方式涉及機(jī)器人的臂結(jié)構(gòu)和機(jī)器人。背景技術(shù)通常，已知一種機(jī)器人，借助該機(jī)器人將扁平工件(諸如用于液晶顯示器的玻璃基板或半導(dǎo)體片)裝載到堆料機(jī)和從該堆料機(jī)上卸載。機(jī)器人被安裝在保持減壓狀態(tài)的室(下文中稱為“真空室”)內(nèi)。已提出一種基板處理裝置，其中用于確定由機(jī)器人傳送的基板的狀態(tài)的傳感器安裝在真空室中(見，例如，日本專利特開2011-210814號(hào)公報(bào))。在上述基板處理裝置中，在裝載和卸載基板的所有點(diǎn)處安裝用于確定基板的狀態(tài)的傳感器。然而，在傳...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。