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雙晶片微夾鉗的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2316176

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本發(fā)明屬于機(jī)器人技術(shù)和微機(jī)電,具體地說,它是一種微操作機(jī)器人的末端執(zhí)行器。背景技術(shù) 近年來,微電子機(jī)械技術(shù)發(fā)展迅速,對微操作系統(tǒng)和裝置的需求越來越大。微夾鉗作為一種典型的微執(zhí)行機(jī)構(gòu),不僅可作為微操作機(jī)械手的手爪,而且在微機(jī)械零件的加工、裝配、生物工程和光學(xué)工程等領(lǐng)域均有很好的應(yīng)用前景。因此,微夾鉗及其相關(guān)的研究已成為國內(nèi)外微操作機(jī)器人和微機(jī)電研究領(lǐng)域的一個(gè)前沿課題。目前,國內(nèi)外正在研究的微夾鉗種類較多,根據(jù)能量供給、驅(qū)動(dòng)方式和制作材料的不同,大體上有靜電式...
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