技術(shù)編號:2336048
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種機械手裝置,尤其涉及一種用于密封材料熱處理裝置的機械手裝置。背景技術(shù)在大多數(shù)的平板顯示設備的生產(chǎn)過程中,基本上都需要使用到熱處理裝置。對于 這些熱處理裝置,目前現(xiàn)有的密封材熱處理裝置的構(gòu)造如圖1所示,在框架11的底部設置 有加熱裝置14,在加熱裝置14的上面依次以一定間隔放置多層放置基板用的裝載層12,相 應地,在框架11的一側(cè)設置有和所述裝載層12相對應的可控門13,所述可控門13為取放 基板用的縫隙狀的開口 ,所述基板通過機械手裝置放入和...
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