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可調(diào)壓力并帶有力傳感器的機械臂的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2336733

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本發(fā)明涉及一種搬運機械臂,尤其是涉及一種使用在晶粒分揀機或固晶機中的可以調(diào)節(jié) 對晶粒的下壓力、并可以方便測量下壓力何時滿足要求的晶粒搬運機械臂。技術(shù)背景在發(fā)光二極管晶粒生產(chǎn)過程中,首先生產(chǎn)出整片的晶片,晶片經(jīng)過切割后分割為互相完 全分離的獨立的晶粒,并獨立粘附于具有粘性的藍膜上。在后續(xù)晶片分類工藝中,晶粒分揀 機需要使用一真空吸嘴裝置將晶粒從藍膜上吸取起來,并放置到規(guī)定的位置;或者在后續(xù)固 晶工藝中,固晶機需要使用一真空吸嘴裝置將晶粒從藍膜上吸取起來,并放...
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