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真空臺遮罩、真空固定裝置及工件真空固定到其上的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2357769

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本發(fā)明大體上涉及真空固定裝置(vacuum hold-down apparatus),更具體而言, 涉及采用真空固定裝置的檢驗系統(tǒng)。背景技術(shù)據(jù)信,以下美國專利代表了所屬領(lǐng)域的現(xiàn)狀5, 671910及5,709,023,6, 422,548 及 7,469,886。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種真空固定裝置。根據(jù)本發(fā)明一方面提供一種用于各種形狀及/或尺寸的工件的真空固定系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括真空固定臺以及有孔的真空臺遮罩。真空固定臺界定遮罩支撐平面。有孔的真空臺遮...
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