技術(shù)編號：2371648
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)在例如用于基片傳送設(shè)備這樣的實(shí)施例中，傳送臂將各個(gè)端頭執(zhí)行裝置安裝于其上以攜帶基片(例如半導(dǎo)體晶片或平板顯示器)經(jīng)過適宜的路徑去進(jìn)行處理?；湫偷厥抢镁投祟^執(zhí)行裝置之間的摩擦力而被握住的，這個(gè)摩擦力在某些應(yīng)用中可以用真空或靜電固定予以補(bǔ)充或相伴同。因此，如果基片上的慣性力超過了將它固定在端頭執(zhí)行裝置上的固定力，則基片將會滑動，這導(dǎo)致傳送時(shí)間受到這個(gè)固定力的大小的限制。此外，另外的一些限制(例如受限的速度和跳動)對于安全操作和軌跡跟蹤等原因通...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。