技術(shù)編號：2418755
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的實(shí)施例涉及清潔和刷新處理室部件的方法。背景技術(shù)襯底處理室被用于以激發(fā)的處理氣體處理襯底，以制造諸如集成電路芯片和顯示器的電子電路。通常，處理室包含包圍處理區(qū)域的圍壁；激發(fā)氣體的氣體激發(fā)器以及排放和控制氣體壓力的排放系統(tǒng)，其中，所述處理氣體被引入所述處理區(qū)域中。諸如室壁、襯墊和沉積環(huán)之類的室部件容易被用來處理襯底的激發(fā)氣體腐蝕，尤其是當(dāng)處理氣體包含鹵素時(shí)。通過在部件上形成諸如經(jīng)雙絲電弧噴鍍的鋁涂層之類的防腐蝕涂層，可以提高防腐蝕性。涂層也可以具有經(jīng)紋...
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