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貼合用真空裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2462555

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本實(shí)用新型提供一種貼合用真空裝置,其包括氣缸、直線軸承、導(dǎo)向軸、軸、電磁閥、直線電機(jī)、壓力傳感器、拖鏈;所述導(dǎo)向軸的兩端分別與所述直線軸承和軸相連接;所述貼合用真空裝置還包括上基板和下基板,所述氣缸位于所述上基板上,所述上基板和下基板兩端滑動(dòng)設(shè)置于所述導(dǎo)向軸上,所述軸和電磁閥固定于所述下基板的下方;所述直線電機(jī)位于所述導(dǎo)向軸的一側(cè),且直線電機(jī)位于所述上基板和下基板之間,所述壓力傳感器與所述直線電機(jī)相對設(shè)置,且固定于所述下基板下方。本實(shí)用新型的貼合用真空裝置...
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