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用于將流體噴射到基底上的設(shè)備和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2472167

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背景技術(shù)通常將流體(如受熱流體)噴射到基底上以用于多種目的。例如,可將受熱流體噴射到基底上以用于退火、干燥表面涂層、促進(jìn)化學(xué)變化或物理變化等目的。通常,允許噴射流體逸出到周?chē)髿猸h(huán)境中,由此可允許其消散或者可至少部分地通過(guò)導(dǎo)管、罩等進(jìn)行移除。發(fā)明內(nèi)容本文公開(kāi)了如下設(shè)備和方法,所述設(shè)備和方法用于將流體(如受熱流體)噴射到基底的表面上,然后局部地移除所噴射流體。所述設(shè)備可包括至少第一流體遞送出口和第二流體遞送出口,所述至少第一流體遞送出口和第二流體遞送出口彼此...
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