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流體噴射裝置及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2478115

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本發(fā)明涉及一種,特別是涉及一種可提高使用效率及延長壽命的。背景技術(shù)目前流體噴射裝置大多運(yùn)用于噴墨頭、燃料噴射器等元件上,其中噴墨頭更是大量的使用熱趨氣泡式設(shè)計(jì)。圖1顯示一種現(xiàn)有美國專利號碼6,102,530的單石化的流體噴射裝置1,其以一硅基底10作為本體,且在硅基底10上形成一結(jié)構(gòu)層12,而在硅基底10和結(jié)構(gòu)層12之間形成一流體腔14,用以容納流體26;而在結(jié)構(gòu)層12上設(shè)有一第一加熱器20、以及一第二加熱器22,第一加熱器20用以在流體腔14內(nèi)產(chǎn)生一第一...
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