技術(shù)編號:2478434
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種,特別涉及熱方式的噴墨打印頭用加熱器裝置。背景技術(shù)熱方式的噴墨打印頭用加熱器裝置使用的加熱器板IC(集成電路),早已廣為人知。(例如,參閱特開2002——339085號公報)。圖6是為了講述現(xiàn)有技術(shù)的這種加熱器板IC的點的剖面結(jié)構(gòu)而繪制的圖形。加熱器板IC2,具有由硅氧化物(SiO2)構(gòu)成的基底層4、由鉭硅氮化物(Ta SiN)構(gòu)成的加熱器層6、布線層8、由硅氮化物(SiN)構(gòu)成的等離子的氮化膜10、由鉭(Ta)構(gòu)成的加熱器保護層12。加熱器...
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