技術(shù)編號：2480702
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于形成LCD器件和半導(dǎo)體器件中微小圖案的印刷輥，特別涉及一種粘附于印刷輥的橡皮布。背景技術(shù)通常，通過沉積多層并且刻蝕涂布的層的重復(fù)步驟形成LCD器件和半導(dǎo)體器件。為了沉積各層，需要執(zhí)行沉積工序如化學(xué)汽相沉積(CVD)方法和濺射方法。同樣，要執(zhí)行光刻工序以刻蝕涂布的層。如果由于多層的形成而使得沉積工序和刻蝕工序復(fù)雜，生產(chǎn)力會降低。從這個方面說，需要為器件的大批量生產(chǎn)提供簡化的沉積工序和刻蝕工序。與通過用CVD方法和濺射方法涂布多層并且用光刻方...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。