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加熱電阻元件及其制造方法、熱敏頭和打印機(jī)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2484607

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本發(fā)明涉及加熱電阻元件及其制造方法、熱敏頭和打印機(jī)。 背景技術(shù)通常,在設(shè)置于打印機(jī)熱敏頭中的加熱電阻器中,為了提高加熱 電阻器的加熱效率并降低功耗,在與加熱電阻器相對的區(qū)域中形成中 空部分,并使得該中空部分用作具有低熱傳導(dǎo)率的隔熱層,由此控制從加熱電阻器流到隔離襯底側(cè)的熱量(例如參見JP 2007-83532A)。作為形成中空部分的方法,采用了以下方式使硅襯底經(jīng)受蝕刻 或激光加工,并形成凹進(jìn)部分(具有大于等于lpm且小于等于100pm 的深度),以通過在7...
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