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致動(dòng)器裝置及其制造方法、液體噴射頭以及液體噴射裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2510839

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本發(fā)明涉及在振動(dòng)板上具有壓電元件的致動(dòng)器裝置及其制造方法、使用該致動(dòng)器裝置的液體噴射頭以及液體噴射裝置,其中所述壓電元件由下電極、壓電體層、以及上電極構(gòu)成,所述壓電體層由壓電材料形成。背景技術(shù)作為用于致動(dòng)器裝置的壓電元件,有以下電極和上電極兩個(gè)電極夾持壓電體層而構(gòu)成的壓電元件,所述壓電體層由呈機(jī)電轉(zhuǎn)換功能的壓電材料、例如結(jié)晶化的壓電陶瓷等形成。該致動(dòng)器裝置通常被稱為撓曲振動(dòng)模式的致動(dòng)器裝置,例如被安裝在液體噴射頭等中來(lái)使用。另外,作為液體噴射頭的代表示例,...
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