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液體噴出頭及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:2518412

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本發(fā)明的涉及輸出油墨的油墨噴射頭等噴出液體的。作為制造上述油墨噴射頭的方法,提出了如特開平10-286953號公報中所述的方法。該方法是,依次利用濺射等方法,在由MgO制成的基板上,形成兩個電極中的一個電極膜(個別電極膜)、壓電體膜,另一個電極膜(共用電極膜)和振動板膜,之后,使具有構(gòu)成油墨室的油墨室用孔的油墨室構(gòu)件與壓電元件的振動板膜對準(zhǔn),并用粘接劑接合;接著利用蝕刻除去上述成膜基板。根據(jù)該制造方法,在具有多個油墨噴射頭大小的基板上,形成上述各層,因此可...
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