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高效的空間調(diào)制器系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2531990

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本發(fā)明涉及空間光調(diào)制器。技術(shù)背景微鏡陣列是一種包含像素單元的陣列的空間光調(diào)制器(SLM)裝 置,這些像素單元中的每一個(gè)包含可關(guān)于一軸傾斜的鏡板以及用于產(chǎn) 生可使微鏡板傾斜的靜電力的電路。在數(shù)字操作模式中,例如,鏡板 可被傾斜并停在兩個(gè)位置處。在"開(kāi)(on)"位置處,微鏡向顯示器表 面反射入射光以在圖像顯示器中形成圖像像素。在"關(guān)(off)"位置處, 微鏡引導(dǎo)入射光以使其遠(yuǎn)離圖像顯示器。用于微鏡陣列的驅(qū)動(dòng)電路可 以被制造在通常稱為SLM裝置黑平面(black...
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