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用于驅(qū)動(dòng)模擬干涉式調(diào)制器的系統(tǒng)、裝置及方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2537598

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本發(fā)明提供用于校準(zhǔn)及控制模擬干涉式調(diào)制器的激活的系統(tǒng)、方法及設(shè)備。在一個(gè)方面中,所述模擬干涉式調(diào)制器的可移動(dòng)層的電極可包含用于接收驅(qū)動(dòng)電壓的部分及電隔離部分。可從所述電隔離部分感測(cè)電壓,且所述電壓可用以確定所述可移動(dòng)層的位置及/或?qū)λ鲵?qū)動(dòng)電壓提供反饋。專利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及用于模擬干涉式調(diào)制器且用于檢測(cè)安置在兩個(gè)其它導(dǎo)體之間的可移動(dòng)導(dǎo)體的位置的驅(qū)動(dòng)方案及校準(zhǔn)方法。背景技術(shù)[0002]機(jī)電系統(tǒng)(EMS)包含具有電元件及機(jī)械元件、激活器、變換器、傳感...
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