技術(shù)編號：2673826
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。具有與機(jī)械及電功能分離的光學(xué)功能的微機(jī)電裝置分案申請的相關(guān)信息 本申請為發(fā)明名稱為“具有與機(jī)械及電功能分離的光學(xué)功能的微機(jī)電裝置”的原中國發(fā)明專利申請的分案申請。原申請的申請?zhí)枮?00880022893. 2 ；原申請的申請日為 2008年6月M日；原發(fā)明專利申請案的優(yōu)先權(quán)日為2007年7月2日(美國專利申請)和 2008年3月25日(歐洲專利申請)。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMQ包含微機(jī)械元件、激活器和電子裝置?？墒褂贸练e、蝕刻和/或其它蝕刻掉襯底和/或已...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。