技術編號：2674530
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及納米加工，特別是一種利用氣壓來實現(xiàn)納米圖形轉移的熱壓印裝置。背景技術納米壓印技術是一種廉價高分辨率的納米圖形轉移技術。通過按壓具有納米凹凸結構的印章(納米壓印模仁)到有很薄的聚合物的襯底(納米壓印基板)上實現(xiàn)圖形轉移；對裝置進行加熱或紫外照射，當印章去除后，襯底上留下原始凹凸納米結構圖形的壓印。其中納米壓印模仁壓入的平衡、均勻、與表面垂直是納米壓印工藝的關鍵，任何壓入的微小不平衡、非均勻、與表面不垂直都將使圖形轉移發(fā)生畸變。中國發(fā)明專利授權公告說...
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