技術(shù)編號：2676531
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及，特別是可見光譜用線柵偏光鏡的制造方法。背景技術(shù) 近來，已經(jīng)研發(fā)出各種光學元件，例如有效透過特定偏振光光線，同時有效反射正交的偏振光光線的寬帶域?qū)挾染€柵偏光鏡等(專利文獻1等)?，F(xiàn)在，為了形成了金屬壓花圖案，已經(jīng)實用化的無機偏光鏡在基板上形成抗蝕圖案之后，通過RIE(Reactive Ion Etching)等進行干法蝕刻。然而，壓花形狀為納光譜級(nano-order)時必須嚴格控制蝕刻參數(shù)，從而難以高成品率制造精度良好的偏光鏡。為此，尋求一種...
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