技術(shù)編號：2679108
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及投影儀，尤其涉及數(shù)字微鏡器件。背景技術(shù)DMD(digital mirror device)數(shù)字微鏡器件是一種整合的微機電上層結(jié)構(gòu)電路單元(MEMS superstructure cell),它是利用CMOS SRAM記憶晶胞所制成。DMD上層結(jié)構(gòu)的制造是從完整CMOS內(nèi)存電路開始，再透過光罩層的使用，制造出鋁導(dǎo)電層和硬化光阻層 (hardened photoresist)交替的上層結(jié)構(gòu)，招導(dǎo)電層包括地址電極(address electrode...
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