技術(shù)編號：2680938
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種使用空間光調(diào)制器(SLM)的改進方法和裝置，更具體地說，本發(fā)明涉及一種用于校準在空間光調(diào)制器中的多值元件的方法以及用于在安排在圖像平面中的并對電磁輻射敏感的工件上形成圖案的裝置。背景技術(shù) 平板印刷產(chǎn)品可用于集成電路、模板、標線片、平板顯示器、微型機械或微型光學器件以及封裝器件，例如引線框(leading frame)和MCM。平板印刷產(chǎn)品可以包括一個光學系統(tǒng)，用來將原始模型從由計算機控制的空間光調(diào)制器(這里為“SLM(Spatial Ligh...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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