技術(shù)編號(hào):2681149
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在接合基片上形成的光學(xué)元件及光學(xué)元件的制造方法。背景技術(shù) 把2塊基片接合起來形成的光學(xué)元件,對(duì)一塊基片進(jìn)行薄片化后進(jìn)行脊形加工,即可形成脊形光波導(dǎo)。在對(duì)該基片進(jìn)行接合的情況下,不使用粘接劑等使基片之間牢固接合的技術(shù),已知的是直接接合技術(shù)。利用直接接合,能對(duì)玻璃、半導(dǎo)體、強(qiáng)電介質(zhì)、壓電陶瓷等各種材料進(jìn)行高精度的接合,有希望應(yīng)用于光學(xué)元件。作為電介質(zhì)基片、半導(dǎo)體基片、玻璃基片等直接接合基片中的光學(xué)元件的一例提出了光波導(dǎo)型元件。例如在專利第257459...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。