技術編號：2682356
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種利用根據(jù)圖像數(shù)據(jù)由空間光調制元件進行空間調制后的激光光束、對感光材料等的曝光面進行曝光的曝光頭以及具有該曝光頭的曝光裝置。例如作為DMD，采用根據(jù)控制信號改變反射面角度的多個微反射鏡按照2維配置在硅等半導體基板上的反射鏡器件，采用該DMD的曝光裝置，如圖27所示，由發(fā)射激光光束的光源1、對光源1射出的激光光束進行準直處理的透鏡系2、配置在透鏡系2的大致焦點位置上的DMD3、使由DMD3反射的激光光束在曝光面5上成像的透鏡系4、6所構成。此外，...
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