技術(shù)編號(hào)：2682561
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路之制造。詳言之，本發(fā)明系關(guān)于一種制造三維(3-D)集成電路之系統(tǒng)及方法。背景技術(shù)受惠于半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)之突飛猛進(jìn)，動(dòng)態(tài)矩陣液晶電視(AMLCD TV)及計(jì)算機(jī)顯示器之制程已有長(zhǎng)足進(jìn)步。近年來，液晶電視及計(jì)算機(jī)顯示器之尺寸不斷放大，但價(jià)格則逐漸大眾化。就半導(dǎo)體IC而言，各技術(shù)世代系由電路設(shè)計(jì)規(guī)則中之關(guān)鍵尺寸(⑶)加以定義。隨著技術(shù)世代之演進(jìn)，新世代IC之圖征關(guān)鍵尺寸目標(biāo)值逐漸縮小，誤差容許度亦更趨嚴(yán)格。但就平板顯示器(FPD)而言...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。