技術(shù)編號(hào)：2682612
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于投射曝光系統(tǒng)的成像光學(xué)系統(tǒng)，用于投射曝光系統(tǒng)的照明光學(xué)系統(tǒng)和具有該類型成像光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)。本發(fā)明還涉及具有該類型光學(xué)系統(tǒng)的投射曝光系統(tǒng)，用于投射曝光系統(tǒng)的掩模母版，借助于該投射曝光系統(tǒng)而制造微結(jié)構(gòu)化組件的方法和通過(guò)該方法制造的組件。背景技術(shù)從DE102007062198A1、US7, 414，781B2、US7, 682，031B2,以及從 W02010/091800A1可獲知成像光學(xué)系統(tǒng)。從US2008/0036986A1可獲知光刻系統(tǒng)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。